日本ulavc爱发科多级罗茨干式真空泵 HR1200 西崎科技（成都）有限企业

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产品名称：日本ulavc爱发科多级罗茨干式真空泵
产品型号：HR1200
产品厂商：其它品牌
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简单先容：

特征可以将通过热化CVD、蚀刻等在高温区域产生的可升华废气以气态排出。 UR 系列可以加热到比 HR 系列更高的温度。由于密封结构配备氦气密封罐装电机，因此非常安全。瞬时停电对策采取1000msec以内的瞬时停电对策。优异的耐蚀性主要部件采用表面硬度高、耐蚀性优异的特殊表面处理。排出腐蚀性气体时减少泵内部的腐蚀。通讯功能可以读取与泵运行状态和警告/警报历史相关的数据。通过使用专用App和实行计算机通信，可以进行集中监控。

详情先容：

模型			HR60	HR90	HR300	HR600	HR1200
使用的泵		DRP	HR60	HR90	HR60	HR90	HR90
		公安部	――――	――――	PRC-003A	PRC-006A	PRC-012A
*大排气速度	50赫兹	米³ /小时（升/分钟）	62 (1030)	112 (1860)	359 (5,980)	653 (10,900)	1,012 (16,900)
	60赫兹	米³ /小时（升/分钟）	80 (1333)	126 (2100)	365 (6,080)	701 (11,700)	1,051 (17,500)
达到压力		帕	五		0.67
*大进气压力（进气压力）			大气压*1
*大排气口压力（排气压力）		帕	1～大气压
进气口（CE规格）			VG50 (KF50)	VG80 (KF50)	VG80 (KF80)		VG100 (KF100)
排气口			KF40
大量的		公斤	180	245	275	370	420
电力	三相	VAC (赫兹)	200 (50/60), 220 (60)
当前值	常规时间	一个	7.1 （200V 时）	11.2 （200V 时）	7.8 （200V 时）	12.9 （200V 时）	15.4 （200V 时）
	*大值	一个	7.3 （200V 时）	11.8 （200V 时）	8.1 （200V 时）	13.8 （200V 时）	18.9 （200V 时）
临时冷却水压力		兆帕	0.1～0.3
冷却水进/出口压差		兆帕	> 0.1
冷却水流量		升/分钟	> 5.0
吹扫气体	初级压力	兆帕	0.1～0.5

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