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  • 产品名称:日本ulavc爱发科 多级罗茨干式真空泵

  • 产品型号:HR1200
  • 产品厂商:其它品牌
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简单先容:
特征 可以将通过热化CVD、蚀刻等在高温区域 产生的可升华废气以气态排出。 UR 系列可以加热到比 HR 系列更高的温度。 由于密封结构配备氦气密封罐装电机,因此非常安全。 瞬时停电对策 采取1000msec以内的瞬时停电对策。 优异的耐蚀性 主要部件采用表面硬度高、耐蚀性优异的特殊表面处理。排出腐蚀性气体时减少泵内部的腐蚀。 通讯功能 可以读取与泵运行状态和警告/警报历史相关的数据。通过使用专用App和实行计算机通信,可以进行集中监控。
详情先容:
模型 HR60 HR90 HR300 HR600 HR1200
使用的泵 DRP HR60 HR90 HR60 HR90 HR90
公安部 ―――― ―――― PRC-003A PRC-006A PRC-012A
*大
排气速度
50赫兹 3 /小时
(升/分钟)
62 (1030) 112 (1860) 359 (5,980) 653 (10,900) 1,012 (16,900)
60赫兹 3 /小时
(升/分钟)
80 (1333) 126 (2100) 365 (6,080) 701 (11,700) 1,051 (17,500)
达到压力 0.67
*大进气压力
(进气压力)
大气压*1
*大排气口压力
(排气压力)
1~大气压
进气口(CE规格) VG50 (KF50) VG80 (KF50) VG80 (KF80) VG100 (KF100)
排气口 KF40
大量的 公斤 180 245 275 370 420
电力 三相 VAC (赫兹) 200 (50/60), 220 (60)
当前值 常规时间 一个 7.1 
(200V 时)
11.2 
(200V 时)
7.8 
(200V 时)
12.9 
(200V 时)
15.4 
(200V 时)
*大值 一个 7.3 
(200V 时)
11.8 
(200V 时)
8.1 
(200V 时)
13.8 
(200V 时)
18.9 
(200V 时)
临时冷却水压力 兆帕 0.1~0.3
冷却水进/出口压差 兆帕 > 0.1
冷却水流量 升/分钟 > 5.0
吹扫气体 初级压力 兆帕 0.1~0.5
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